微导纳米： 公司产品销售价格会综合考虑供需关系、市场竞争、技术变化等多重因素

投资者：请问贵公司2023年新签的光伏设备订单，价格方面是否有较大的变化，如15%以上的价格变动。

微导纳米董秘：尊敬的投资者您好，公司产品销售价格会综合考虑供需关系、市场竞争、技术变化等多重因素。感谢您的关注。

投资者：尊敬的董秘：请问公司产品在HNM技术路线的应用？目前有没有大规模出货？谢谢

微导纳米董秘：尊敬的投资者您好。公司半导体产品覆盖逻辑芯片、存储芯片、硅基OLED和第三代半导体等诸多半导体应用领域。公司高度重视研发投入，持续保持对新技术的关注，强化科技创新能力。感谢您的关注！

投资者：请问公司的ald设备是否能用于tsv技术？

微导纳米董秘：尊敬的投资者您好，公司已开发多款半导体薄膜沉积设备，以满足客户多种薄膜沉积工艺的开发和应用需求。其中，iTomic系列原子层沉积镀膜系统适用于高介电常数（High-k）栅氧层、MIM电容器绝缘层、TSV介质层等薄膜工艺需求，可为逻辑芯片、存储芯片及先进封装提供介质层等关键工艺解决方案；iTomicMW系列批量式原子层沉积镀膜系统适用于成膜镀率低，厚度要求高以及产能要求高的关键工艺及应用，可为存储芯片以及Micro-OLED显示器、MEMS等提供定制化量产的解决方案；iTomicLite系列轻型原子层沉积镀膜系统可以按需配置PEALD或ThermalALD等工艺需求，可广泛应用于MEMS、光电器件等泛半导体器件领域；iTomicPE系列等离子体增强原子层沉积镀膜系统可根据不同温度要求制备氧化硅、氮化硅、氮氧化硅等薄膜制备工艺及应用，为逻辑芯片、存储芯片、先进封装等提供客制化掩膜层、介质层、图案化等关键工艺解决方案；iTronix系列化学气相沉积镀膜（CVD）系统，可应用于逻辑、存储、先进封装、显示器件等镀膜领域。以上产品部分已进入客户端验证中，并逐步获得客户验收。目前公司半导体收入占比较小但保持快速发展，未来将继续加大半导体及各应用市场的开拓，不断提升产品市占率及其收入占比，具体进展请您随时关注公司后续相关公告，感谢您的关注。

投资者：董秘您好，请问下贵公司在HBM存储技术路线上有何产品?拓展市场情况如何?

微导纳米董秘：尊敬的投资者您好，公司半导体产品覆盖逻辑芯片、存储芯片、硅基OLED和第三代半导体等诸多半导体应用领域。公司高度重视研发投入，持续保持对新技术的关注，强化科技创新能力。感谢您的关注！

投资者：尊敬的董秘：半导体新技术HBM，公司的ALD产品能否运用于这个新技术产业链，有专业报告说明会大幅度提升ALD设备的运用

微导纳米董秘：尊敬的投资者您好，公司半导体产品覆盖逻辑芯片、存储芯片、硅基OLED和第三代半导体等诸多半导体应用领域。公司高度重视研发投入，持续保持对新技术的关注，强化科技创新能力。感谢您的关注！

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